Lam Research
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About Lam Research
Lam Research Corporation 設計、製造、銷售、翻新和維修用於製造集成電路的半導體加工設備。該公司提供 ALTUS 系統來為鎢金屬化應用沉積保形膜；用於銅互連過渡的 SABRE 電化學沉積產品，提供銅鑲嵌製造；用於薄膜處理的 SOLA 紫外線熱加工產品；和 VECTOR 等離子體增強 CVD ALD 產品。還提供SPEED gapfill高密度等離子化學氣相沉積產品；和用於介電薄膜解決方案的 Striker 單晶圓原子層沉積產品。此外，該公司還提供用於介電蝕刻應用的 Flex；用於導體蝕刻應用的 Kiyo；用於矽通孔蝕刻應用的 Syndion；以及用於金屬蝕刻工藝的 Versys 金屬產品。此外，它提供Coronus斜面清潔產品以提高芯片良率；達芬奇、DV-Prime、EOS、SP系列產品，解決各種晶圓清洗應用；和 Metryx 質量計量系統，用於半導體晶圓製造中的高精度在線質量測量。該公司向美國、中國、歐洲、日本、韓國、東南亞、台灣和國際的半導體行業銷售其產品和服務。 Lam Research Corporation 成立於 1980 年，總部位於加利福尼亞州弗里蒙特。
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